全国政协委员、九三学社中央委员张大方说，集成电路装备集成了材料、器件物理、计算机、自动控制、光学、化学、精密机械、装备制造等科技领域的最新成就，是基础研究和应用研究共同发展的产物，许多技术已经在挑战机械、光学加工等方面的物理极限。集成电路装备制造业作为增强国家综合实力和国际竞争力的先导性和战略性产业，不仅支撑着集成电路产业的发展，同时也支撑着整个国家电子信息产业的发展，一直是发达国家争夺高技术产业的战略制高点。发达国家始终没有放弃在此领域对我国的技术封锁，历史上曾通过巴黎统筹委员会等组织对中国实行严厉的禁运控制。振兴集成电路装备制造业，尽快扩大自主装备市场占有率，不仅是中国集成电路可持续发展的需要，也是打破国外技术封锁，确保国家经济安全的战略需要。我国集成电路产业在过去的近4年投入高达100亿美元，超过过去50年投资总和的3倍。2006年设备的需求同比增长了78%。从投资角度看，一条集成电路生产线需要近200种设备，仅前道工序的关键设备就有20多种，其中最为关键的核心设备有7种。我国集成电路装备产业始于20世纪50年代后期，发展一直相对滞后，主要依赖进口，目前自产装备占国内市场份额不到2%，未形成可以支撑自身可持续发展的产业规模，仍处于产业规模小，核心技术受制于人的被动局面。

张大方指出，目前我国的集成电路装备制造业发展正逐步显现出较大的发展空间和潜力，但与之战略地位相匹配的产业发展环境和具体措施仍需进一步改善。突出表现在两个方面。一是政策不到位。《鼓励软件产业和集成电路产业发展若干政策》（国发〔2000〕18号）未将集成电路生产所需的各类设备和其它材料纳入政策优惠范围。文件中关于“集成电路生产企业进口自用生产性原材料、消耗品、免征关税和进口环节增值税，企业引进集成电路技术和成套生产设备与仪器，免征进口关税和进口环节增值税”的规定，在降低境外公司来华投资设厂成本的同时也相对提高了国内半导体设备和材料生产企业的成本。由于国产设备国内销售，在将产品销售时均需交纳17%的增值税，从而使国产集成电路设备和材料的价格优势大大缩小，造成不公平竞争。二是对重大装备重复引进缺乏相关政策约束，造成巨大浪费。由于没有如韩国《首套截止法》类似的相关法规(韩国在上世纪70年代就颁布的即同类大型成套设备只准进口一套，其他需求必须以自主消化吸收哪怕是仿制来解决)，国有企业大都把引进作为技术改造和扩建的首选，而且出于自身利益的考虑，常常将高价引进的装备作为竞争力的一个手段，对外保密，导致装备制造商缺乏消化国外装备的机会和新设备的市场支撑。

张大方为此提出三点建议。第一，将经过认定的集成电路专用设备制造企业列入国家优惠政策范围。第二，对订购和使用国产首台(套)重大技术装备的企业采取补贴政策，鼓励采购国产设备。对国产设备能够替代进口的设备，应禁止进口。第三，调整进口税收优惠政策。对列入国家发展重点的集成电路技术装备和产品，制定专项进口税收政策，对国内生产企业为开发、制造这些装备而进口的部分关键配套部件和原材料，免征进口关税或实行先征后返，进口环节增值税实行先征后返。同时，取消相应整机和成套设备的进口免税政策。对国产装备不能完全满足需求，仍需进口的，作为过渡措施，并逐步降低优惠幅度、缩小免税范围的方式。